Новая технология травления кремния создает трехмерную градиентную микрооптику показателя преломления
Работая с коллегами из Стэнфорда и Dow Chemical Company, исследователи из Университета Иллинойса в Урбана-Шампейн создали трехмерную микрооптику с градиентным показателем преломления (GRIN) с помощью электрохимического травления предварительно сформированных микроструктур Si, таких как квадратные колонки, структуры PSi. …